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日本COSMOS新宇宙PS-7多種氣體檢測(cè)器PS-7-M半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品名稱(chēng)

產(chǎn)品名稱(chēng):多種氣體檢測(cè)器/半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀

品牌:日本COSMOS新宇宙

型號(hào):PS-7 PS-7-M

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品主機(jī)選型
PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設(shè)備網(wǎng)絡(luò))搭載方式;
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
氣體/傳感器單元選型
PF3,CDS-7,10ppm; SiH4,5/25ppm; PH3,1ppm; B2H6,500ppb; AsH3,250ppb;
H2,CHS-7,500/1000ppm,熱線(xiàn)型半導(dǎo)體式;        H2Se,250ppb; Si2H6,25ppm
O2,COS-7,25vol%,伽代尼電池式;  GeH4,1ppm; NH3,100ppm;  SiH2CL2,25ppm;
NF3,100ppm,定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元);     H2S,50ppm;   CO,250ppm;
CCl4,100ppm,定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元);    CL2,5ppm;    CLF3,1ppm;
HF,10ppm,定電位電解式; F2,5ppm; 鹽酸,5/25ppm; 氫溴酸,10ppm; O3,1ppm;
產(chǎn)品詳情
日本COSMOS新宇宙PS-7多種氣體檢測(cè)器PS-7-M半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品主機(jī)選型
PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設(shè)備網(wǎng)絡(luò))搭載方式;
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
氣體/傳感器單元選型
PF3,CDS-7,10ppm; SiH4,5/25ppm; PH3,1ppm; B2H6,500ppb; AsH3,250ppb;
H2,CHS-7,500/1000ppm,熱線(xiàn)型半導(dǎo)體式;        H2Se,250ppb; Si2H6,25ppm
O2,COS-7,25vol%,伽代尼電池式;  GeH4,1ppm; NH3,100ppm;  SiH2CL2,25ppm;
NF3,100ppm,定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元);     H2S,50ppm;   CO,250ppm;
CCl4,100ppm,定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元);    CL2,5ppm;    CLF3,1ppm;
HF,10ppm,定電位電解式; F2,5ppm; 鹽酸,5/25ppm; 氫溴酸,10ppm; O3,1ppm;
技術(shù)參數(shù):
檢測(cè)對(duì)象氣體:更換傳感器,能夠檢測(cè)各種氣體
檢測(cè)方式:自動(dòng)吸引式
檢測(cè)原理:定電位電解式/熱線(xiàn)型半導(dǎo)體式/隔膜伽伐尼電池式、熱分解+定電位電解式
類(lèi)型:標(biāo)準(zhǔn)型或附帶轉(zhuǎn)換器組件型
檢測(cè)范圍:根據(jù)規(guī)格而定;
采樣配管:特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm,配管距離在20m以?xún)?nèi)
氣體濃度顯示液晶數(shù)字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖
報(bào)警接點(diǎn):氣體報(bào)警(紅色液晶指示燈閃爍,液晶畫(huà)面,1段ALARM1,2段ALARM1、ALARM2顯示);
     流量降低報(bào)警(堵塞顯示流量為低速運(yùn)轉(zhuǎn),黃色LED指示燈閃爍,液晶畫(huà)面FLOW及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài));
傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警(黃色LED指示燈閃爍,液晶畫(huà)面SENS顯示);
熱分解爐斷線(xiàn)報(bào)警僅限帶有轉(zhuǎn)換器單元(黃色LED指示燈閃爍,液晶畫(huà)面CONV顯示,)
連接方式:PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設(shè)備網(wǎng)絡(luò))搭載方式、
          PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
外部輸出:氣體濃度模擬輸出DC4~20mA(與電源的負(fù)極通用)
         氣體報(bào)警接點(diǎn)(1段以及2段)1a無(wú)電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位
         故障報(bào)警接點(diǎn)(開(kāi)路集電極/自動(dòng)復(fù)位)
適用電纜線(xiàn):控制用屏蔽電纜線(xiàn)直徑8~11mm 3芯或者4芯
使用溫濕度范圍:0~+40℃,30~85%RH(無(wú)結(jié)露現(xiàn)象)
電源:DC24V±10%
消耗電力:約7W
外形尺寸:W62xH124xD143mm(突出部分除外)
重量:約1.0kg
安裝方法:壁掛式
產(chǎn)品說(shuō)明:
PS-7是一款通過(guò)更換傳感器單元可以檢測(cè)多種氣體,可通過(guò)PDA讀取數(shù)據(jù)。通過(guò)更換傳感器就可以檢測(cè)多種氣體的半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器;傳感器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)和交付,無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)氣體校準(zhǔn)。此外,無(wú)需工具即可輕松更換傳感器;小巧·輕便的設(shè)計(jì);通過(guò)LCD顯示屏輕松了解氣體濃度,報(bào)警狀態(tài)和錯(cuò)誤信息;采樣流量的自動(dòng)控制功能;當(dāng)插入與設(shè)置不同的傳感器時(shí),傳感器具有防止錯(cuò)誤插入的功能;通過(guò)連接PDA,可以獲取存儲(chǔ)在檢測(cè)單元中的數(shù)據(jù);轉(zhuǎn)換器單元(選件)可用于檢測(cè)NF3和CCl2;符合CE標(biāo)準(zhǔn);符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品用于石油化工、半導(dǎo)體制造等。
備注說(shuō)明:
1.推薦使用特氟龍。但是如果是吸附性較強(qiáng)的氣體時(shí),根據(jù)使用情況的不同也將有所差異,因此,請(qǐng)向本公司進(jìn)行咨詢(xún)。產(chǎn)品有可能改進(jìn)而對(duì)上述規(guī)格進(jìn)行修改,對(duì)此恕不預(yù)先通知用戶(hù)。
2.僅限于附帶轉(zhuǎn)換器件的產(chǎn)品。